
TS2000-HP Probe System
MPI的TS2000-HP半自動化探針臺測試系統(tǒng)可提供8英寸及以下晶圓器件的高功率測量,的ShielDEnvironment™可提供低噪聲和屏蔽的測試環(huán)境。
- 專為高電壓和大電流量測應(yīng)用而設(shè)計(jì)
- 適合至高 10kV / 600A (脈沖)的晶圓級高功率組件量測
- 提供載片下的高功率動、靜態(tài)參數(shù)的測試
- 晶圓載物臺表面鍍金,最小化接觸電阻;真空吸孔優(yōu)化,適合裝載至薄 50 µm 的薄晶圓
- 可選配搭載 Taiko 晶圓載物臺
- 提供抗電弧解決方案
- MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
- 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測環(huán)境
- 支援飛安級低漏電值量測
- 溫度量測范圍 -60 °C to 300 °C
特點(diǎn)與優(yōu)勢
安全系統(tǒng)
采用可互鎖的安全光幕,可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器,保護(hù)用戶免受意外高壓沖擊。 該系統(tǒng)具有后門,并由互鎖保護(hù),以提供簡便的初始安全測量設(shè)置。

ShielDEnvironment™
MPI ShielDEnvironment™是一個(gè)高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng),可為超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境。 為了防止卡盤和壓盤之間產(chǎn)生電弧,TS2000-HP卡盤專門設(shè)計(jì)了ArcShield™。

高壓探針(HVP)
低泄漏探頭專門設(shè)計(jì),可承受高達(dá)10kV(同軸)和3kV(三軸)的高壓??蛇x擇多種連接器選項(xiàng),如Keysight Triax / UHV,Keithley Triax / UHV,SHV或Banana等。

大電流探針(HCP)
專為用于高達(dá)200A(脈沖)的大電流晶片測量而設(shè)計(jì)的高性能探針。 MPI多指大電流探頭采用單片結(jié)構(gòu),可有效處理大電流并提供低接觸電阻。

高功率測試系統(tǒng)
該測試系統(tǒng)提供了一個(gè)一體化的解決方案,用于表征2極和3極功率器件,如場效應(yīng)(FET)、雙極結(jié)(BJTs)晶體管、二極管、電容器(高達(dá)3 kV和100 A)。 只要插入一個(gè)DUT,就可以測量斷開狀態(tài)和接通狀態(tài)的所有相關(guān)參數(shù)以及特性電容(Ciss、Coss Crss)。 IV特性可以在脈沖模式下進(jìn)行,也可以在直流模式下進(jìn)行。這樣可以提高效率并防止任何重新布線錯(cuò)誤。

超快動態(tài)RDS(on)
GaN器件的表征系統(tǒng)
超快速動態(tài)RDS(on)測試是被設(shè)計(jì)用來表征GaN晶體管的特性的。電力電子學(xué)的一個(gè)關(guān)鍵要求是在從高壓離態(tài)切換到低壓導(dǎo)通狀態(tài)后立即獲得非常低的導(dǎo)通電阻(RON)。超快動態(tài)RDS(on)測試能夠在關(guān)閉和打開狀態(tài)之間切換后立即測量RDS(on)。個(gè)RDS(on)值在大約1 us后生成。 該系統(tǒng)是為高達(dá)100A(脈沖電流)或高達(dá)1kV電壓而設(shè)計(jì)的。由于探針的特殊設(shè)計(jì),可以測量更多參數(shù)(泄漏或者其他)。

自動化晶圓裝載系統(tǒng)
自動化的單晶片裝載機(jī)和安全測試管理提供了的功能,可以在任何溫度下裝載/卸載晶片。裝載或卸載晶片不再需要冷卻或加熱到環(huán)境溫度。這樣可以節(jié)省大量的停機(jī)時(shí)間,并顯著提高M(jìn)PI測試系統(tǒng)的整體效率,同時(shí),方便的管理員登錄過程可保護(hù)必要的設(shè)置。

可選的防電弧液體托盤
專門設(shè)計(jì)的防電弧液體托盤,只需放在大功率卡盤表面,即可用于抑制電弧。晶圓可以安全地放置在托盤內(nèi),浸沒在液體中進(jìn)行無電弧高壓測試。

軟件套件SENTIO®
MPI自動工程探針系統(tǒng)由且革命性的多點(diǎn)觸摸操作控制SENTIO®軟件套件,簡單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓(xùn)時(shí)間?!皾L動”,“縮放”,“移動”命令模仿了現(xiàn)代智能移動設(shè)備,使每個(gè)人都可以在短短幾分鐘內(nèi)成為專家。在活動應(yīng)用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。
對于RF應(yīng)用系統(tǒng),無需切換到另一個(gè)軟件平臺——MPI RF校準(zhǔn)軟件程序QAlibria®與SENTIO®集成在一起,遵循單一操作概念方法,易于使用。
