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全自動芯笙氣體流量計廠家

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱青島芯笙微納電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號流量控制 S
  • 所  在  地青島市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2025/7/15 17:06:34
  • 訪問次數(shù)472
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青島芯笙微納電子科技有限公司,位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園,孵化自山東大學。公司以高端氣體質(zhì)量流量計/控制器(MFC)、薄膜真空計(Vacuum?Gauges)、壓力控制器(EPC)等半導體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營業(yè)務,通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段,實現(xiàn)快速發(fā)展,助力國家半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專利21項,實用新型專利12項,國家一級計量證書、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類證書30余份,從核心芯片到模組、算法構(gòu)建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構(gòu)以及國內(nèi)知名儀器儀表企業(yè),全力打造國內(nèi)一流研發(fā)團隊。
????????公司獲評國家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè),承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術(shù)工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構(gòu),并承擔多項科技部重點研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術(shù)攻關(guān)課題。
????????公司現(xiàn)有千級和萬級潔凈廠房3000余平米,在青島、深圳濰坊等地設有制造基地和研發(fā)中心,全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力,并提供專業(yè)的售前售后服務。



質(zhì)量流量控制器,質(zhì)量流量計
青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器,采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級先進流量傳感器芯片,具有*的氣體流道設計,可實現(xiàn)靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面,提供多種數(shù)字和模擬控制方式,并配備工業(yè)級顯示屏,方便客戶現(xiàn)場調(diào)試和配置。
全自動芯笙氣體流量計廠家 產(chǎn)品信息

新一代工業(yè)級流量傳感器芯片與先進氣路結(jié)構(gòu)的結(jié)合

數(shù)字質(zhì)量流量控制器:采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級先進流量傳感器芯片,結(jié)合低壓損氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法,實現(xiàn)寬溫范圍內(nèi)的高精度、高穩(wěn)定性、寬量程比控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場調(diào)試屏及獨立供電接口,適配半導體 、真空鍍膜、光伏及其它各類應用環(huán)境 。

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   基于科學家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與氣體的質(zhì)量流量成正比”理論發(fā)展而來。無氣流時,以Heater為中心的溫度場對稱分布;有氣流時,溫度場分布發(fā)生偏移,導致上下游出現(xiàn)溫差,通過測量該溫差,即可推算出流過芯片表面的氣體質(zhì)量流量。

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   青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器,具有*的氣體流道設計,可實現(xiàn)靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學信號方面,提供多種數(shù)字和模擬控制方式,并配備工業(yè)級顯示屏,方便客戶現(xiàn)場調(diào)試和配置。

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