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青島芯笙微納電子科技有限公司
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國產(chǎn)芯笙氣體流量計公司

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號流量控制 S500

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地青島市

更新時間:2025-08-01 18:42:47瀏覽次數(shù):138次

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青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器,采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級流量傳感器芯片,具有*的氣體流道設(shè)計,可實現(xiàn)靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學(xué)信號方面,提供多種數(shù)字和模擬控制方式,并配備工業(yè)級顯示屏,方便客戶現(xiàn)場調(diào)試和配置。

新一代工業(yè)級流量傳感器芯片與氣路結(jié)構(gòu)的結(jié)合

數(shù)字質(zhì)量流量控制器:采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級流量傳感器芯片,結(jié)合低壓損氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法,實現(xiàn)寬溫范圍內(nèi)的高精度、高穩(wěn)定性、寬量程比控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場調(diào)試屏及獨立供電接口,適配半導(dǎo)體 、真空鍍膜、光伏及其它各類應(yīng)用環(huán)境 。

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   基于科學(xué)家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與氣體的質(zhì)量流量成正比"理論發(fā)展而來。無氣流時,以Heater為中心的溫度場對稱分布;有氣流時,溫度場分布發(fā)生偏移,導(dǎo)致上下游出現(xiàn)溫差,通過測量該溫差,即可推算出流過芯片表面的氣體質(zhì)量流量。

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   青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器,具有*的氣體流道設(shè)計,可實現(xiàn)靈活的分流比配置,量程覆蓋1sccm~120slm,最小控制精度為0.1sccm,0~50℃溫度范圍漂移量僅為0.4~0.6%。在電學(xué)信號方面,提供多種數(shù)字和模擬控制方式,并配備工業(yè)級顯示屏,方便客戶現(xiàn)場調(diào)試和配置。

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