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Edwards nEXT 85 渦輪分子泵

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產(chǎn)品簡介

nEXT 85型分子泵是成熟產(chǎn)品渦輪重新整體設計，以達到優(yōu)化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下，即能達到更高轉速，又能實現(xiàn)更高壓縮比。nEXT85性分子泵的工作性能和服務擴大了nEXT分子泵的應用范圍，實現(xiàn)了智能安裝、現(xiàn)場服務，成為真正的領*產(chǎn)品。性能特點? 性能，技術領*? 型號眾多，易于用戶選擇? 采用Edwards渦輪溫度直接測量技術，極大提高工作安全性能? 前級接口和級間接口可根據(jù)用戶需求選擇（NW40、ISO63、CF63、ISO100）或定制? 用戶可自行更換軸承和油盒? CMSD技術使得震動水平更低? 智能化，通過USB口和Edwards nST軟件可實現(xiàn)對泵的監(jiān)測。

詳細介紹

概述

nEXT85型分子泵是成熟產(chǎn)品EXT75DX型分子泵的升級產(chǎn)品，技術性能進一步提升，外形進一步簡潔美觀。

渦輪重新整體設計，以達到優(yōu)化分子泵性能的目的。在高可靠性的前提下，即能達到更高轉速，又能實現(xiàn)更高壓縮比。

nEXT85性分子泵的工作性能和服務擴大了nEXT分子泵的應用范圍，實現(xiàn)了智能安裝、現(xiàn)場服務，成為真正的領*產(chǎn)品。

性能特點

? 性能，技術領*

? 型號眾多，易于用戶選擇

? 采用Edwards渦輪溫度直接測量技術，極大提高工作安全性能

? 前級接口和級間接口可根據(jù)用戶需求選擇（NW40、ISO63、CF63、ISO100）或定制

? 用戶可自行更換軸承和油盒

? CMSD技術使得震動水平更低

? 智能化，通過USB口和Edwards nST軟件可實現(xiàn)對泵的監(jiān)測、

技術指標

nEXT85 D

nEXT85 H

入口法蘭

NW40

ISO63

CF63

ISO100

NW40

ISO63

CF63

ISO100

抽速

（l/s）

N₂

H₂

壓

縮

比

N₂

>10¹¹

8×10⁶

2×10⁷

H₂

2×10⁵

5×10⁵

>10¹¹

極限真空（mbar）

ISO：<5×10^-9，CF：<5×10^-10

出口法蘭

KF16

放氣口/吹掃口

1/8英寸BSP母螺紋

質(zhì)量（kg）

2.9

3.0

4.4

3.2

2.9

3.0

4.4

3.2

前級真空要求

（mbar）

N₂

H₂

*大連續(xù)入口流量（N₂）

42sccm[水冷（水溫15°C，環(huán)境溫度40°C）]，60sccm[空冷（環(huán)境溫度20°C）]

推薦前級泵

nXDS15i

入口*高溫度

120°C

工作姿態(tài)

垂直、水平（±2°）

工作轉速

90000rpm

90%轉速啟動時間

80W：130s，120W：90 s

冷卻方式

空冷/水冷

噪聲（1m處）

<34dB(A)±2.5

*大耐受磁場

3.5mT

電源

24V~48V DC

模擬輸出電壓

0V~10V DC

工作溫度范圍

5°C ~40°C

工作濕度范圍

10% ~90%RH

儲存溫度范圍

-30°C ~70°C

工作*高海拔

2000m

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