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MicroChem 電子束光刻膠 PMMA

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產品簡介

PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一種通用的聚合材料,適用于許多成像和非成像微電子系統(tǒng)。PMMA光刻膠是將PMMA聚合物溶解在諸如苯甲醚之類的安全溶劑中,曝光會導致聚合物鏈斷裂。PMMA作直寫式電子束的高分辨率正性光刻膠,它具有的分辨率,易于處理和出色的薄膜特性。PMMA還可用作晶圓薄化的保護涂層,粘結粘合劑和刻蝕層。

詳細介紹

PMMA正性光刻膠

PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一種通用的聚合材料,適用于許多成像和非成像微電子系統(tǒng)。PMMA光刻膠是將PMMA聚合物溶解在諸如苯甲醚之類的安全溶劑中,曝光會導致聚合物鏈斷裂。PMMA作直寫式電子束的高分辨率正性光刻膠,它具有的分辨率,易于處理和出色的薄膜特性。PMMA還可用作晶圓薄化的保護涂層,粘結粘合劑和刻蝕層。

材料用途:

  • 晶圓減薄

  • 防護涂料

  • PHEMT

  • 多層T門工藝

  • 其他直寫式電子束工藝

MicroChem PMMA電子束光刻膠 495PMMA 950PMMA

材質屬性:

  • 正調

  • 電子束和X射線可成像

  • 膜厚范圍廣

  • 對大多數基材具有出色的附著力

共聚物光刻膠是基于PMMA和?8.5%甲基丙烯酸的混合物。共聚物MMA(8.5)通常與PMMA結合使用在雙層剝離抗蝕劑工藝中,該工藝需要獨立控制CD尺寸和每個光刻膠層的形狀。標準共聚物光刻膠是在乳酸乙酯中配制的,并且可以在很寬的膜厚范圍內使用。



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