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八帆儀器設(shè)備(上海)有限公司


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MPI全自動晶圓級探針臺系統(tǒng)

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品       牌

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產(chǎn)品簡介

TS3500ProbeSystemTS3500和TS3500-SE在功能上與MPI的已建立的TS3000和TS3000-SE300毫米探針臺具有相同的功能,并通過配置或升級MPI的WaferWallet™而具有自動化的功能

詳細(xì)介紹

TS3500 Probe System

TS3500和TS3500-SE 在功能上與MPI的已建立的 TS3000 和 TS3000-SE 300毫米探針臺具有相同的功能,并通過配置或升級MPI的WaferWallet™而具有自動化的功能。MPI的解決方案通過提供比其他供應(yīng)商的半自動化產(chǎn)品更少的自動化功能,降低了客戶的總體測試成本。 優(yōu)勢:

  • 適用于多種晶圓量測應(yīng)用
  • 模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f
  • 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
  • 可靠性測試 - 精確的壓力測試
  • 的測試控制軟件套件
  • 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C
  • MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
  • 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計的精密量測環(huán)境
  • 支援飛安級低漏電值量測
  • 溫度量測范圍 -60 °C to 300 °C

特點(diǎn)與優(yōu)勢

WaferWallet™

在建模和新技術(shù)開發(fā)過程中進(jìn)行器件表征的常見做法是,通過極其精確的IV-CV,1 / f,RF,mmW和負(fù)載拉力測量從典型的幾個晶片中提取數(shù)據(jù)。 MPI的WaferWallet ™擴(kuò)展了TS3500系列自動化功能,而不會影響測量能力。WaferWallet ™設(shè)計有五個單獨(dú)的托盤,可按人體工程學(xué)手動裝載150、200 或300毫米的“模型"晶圓,可以在不同溫度下用多達(dá)五個相同的晶片進(jìn)行全自動測試。

冷熱硅片的交換

在晶圓裝載和卸載過程中不再需要使卡盤返回到環(huán)境溫度。借助WaferWallet ™,MPI通過的裝載/卸載晶圓功能而使卡盤保持在任意測試溫度,從而節(jié)省了寶貴的時間。

測試自動化

通過缺口指示器進(jìn)行簡單且經(jīng)濟(jì)高效的手動粗調(diào)對準(zhǔn)后,使初始晶圓裝載快速可靠。根據(jù)操作方法的不同,其他選項包括晶圓預(yù)對準(zhǔn)器,ID讀取器或TS3500-SE上的PTPA功能,這些都是提高自動化水平的附加功能。

SENTIO® 控制系統(tǒng)

MPI的SENTIO® 具有高級GUI設(shè)計的3.0軟件套件基于革命性的技術(shù): 多點(diǎn)觸控,直觀的操作; 單窗口GUI,類似于常見的移動設(shè)備; 系統(tǒng)狀態(tài)的儀表板視圖,可簡化導(dǎo)航; 智能,可預(yù)測的操作指南; 免費(fèi)升級探針臺的使用壽命。 通過WaferWallet ™ 儀表板的簡單視圖,操作員可以識別已裝載或空的托盤,晶片直徑(150或200或300 mm),平面/缺口方向,晶片ID(如果適用),已測試的WaferMap的百分比等等。

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