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校準(zhǔn)標(biāo)樣

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更新時間：2025-07-25 08:43:28瀏覽次數(shù)：26次

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八帆儀器設(shè)備（上海）有限公司

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校準(zhǔn)標(biāo)樣-分辨率測試靶高分辨率校準(zhǔn)標(biāo)樣:綜述AppliedNanotools為分辨率應(yīng)用提供X射線，EUV和可見光顯微鏡的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)

詳細(xì)介紹

Applied Nanotools為分辨率應(yīng)用提供X射線，EUV和可見光顯微鏡的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。這些高質(zhì)量的光學(xué)元件包括各種校準(zhǔn)元件，可在以下SEM圖像中看到：

ANT校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計用于具有納米級特征的X射線成像系統(tǒng)的分辨率要求。適用于軟X射線和硬X射線機(jī)制以及光學(xué)設(shè)置。

嵌套的Ls或彎頭允許高分辨率測量，保證間距和效率。在高分辨率標(biāo)準(zhǔn)下低至15 nm半間距。

該圖案允許校準(zhǔn)和準(zhǔn)確比較X射線與其他成像方法的光學(xué)分辨率。

Applied Nanotool的定制設(shè)計NanoUSAF 1951基于USAF 1951設(shè)計，但具有納米而非微米的特征

Device	Base Price
Ultra-High Resolution Soft X-Ray Calibration Standard (70 nm Au) (15 nm half pitch)	USD $5000
Soft X-Ray Calibration Standard (200 nm Au) (20 nm half pitch or better)	USD $4500
Hard X-Ray Calibration Standard (>600 nm Au) (25 nm half-pitch or better)	USD $6000
Features Include: ? Nested L’s ? Siemen star patterns (large and small) ? Varying pitch gratings and meshe ? Nano USAF 1951
Customization	Extra Fee
? Custom Logo (Max 50 µm ² area)	$1000
? Low stress 50 nm silicon nitride membrane	$2000
? Low stress 100 nm silicon carbide membrane	$2500
? Fused Silica Substrate (~500 um thick) Chrome metal on glass (positive tone-only)	$2500
Negative polarity (features transparent) ? 30 nm minimum feature size (soft X-ray) ? 50 nm minimum feature size (hard X-ray)	$1250
? Custom chip sizes	Contact us