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LCL-13 薄膜測厚儀

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地天津市

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所在地區(qū)：

產品簡介

儀器簡介：LCL-13型薄膜測厚儀根據(jù)多次反射光譜相干原理，本儀器可提供非接觸測量薄膜厚度，折射率，吸收系數(shù)等；采用軟件版本，具有納米級精確測量和方便使用等優(yōu)點；測量方便度和準確度遠好于常用光學橢偏儀

詳細介紹




儀器簡介：

   LCL-13型薄膜測厚儀根據(jù)多次反射光譜相干原理，本儀器可提供非接觸測量薄膜厚度，折射率，吸收系數(shù)等；采用軟件版本，具有納米級精確測量和方便使用等優(yōu)點；測量方便度和準確度遠好于常用光學橢偏儀。是薄膜研究，光學鍍膜，和半導體生產的測量研究儀器。



實驗內容：

1、學會薄膜和涂層的厚度測量及折射率和吸收系數(shù)的測定


     

主要配置和參數(shù)：

序號

名稱

規(guī)格和參數(shù)

1

厚度范圍

20nm-50um(只測膜厚），100nm-10um(同時測量膜厚和光學常數(shù)n,k）根據(jù)薄膜材料的種類，其范圍有所不同

2

準確度

<1nm或<0.5%

3

重復性

0.1nm

4

波長范圍

380nm-1000nm

5

可測層數(shù)

1-4層

6

樣品尺寸

樣品鍍膜區(qū)直徑>1.2mm

7

測量速度

5s-60s

8

光斑直徑

1.2mm-10mm可調

9

樣品臺

290mm*160mm

10

光源

長壽命溴鎢燈（2000h）

11

光纖

純石英寬光譜光纖

12

探測器

進口光纖光譜儀

13

電源

AC100V-240V,50Hz-60Hz

14

重量

18kg

15

尺寸

300mm*300mm*350mm











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