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行業(yè)產(chǎn)品

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大塚電子(蘇州)有限公司


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膜厚量測儀 FE-300

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地蘇州市

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更新時間:2024-01-09 12:08:01瀏覽次數(shù):203次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品信息 特 長 薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析 高性能的低價光學(xué)薄膜量測儀 藉由反射率光譜分析膜厚 完整繼承FE-3000機(jī)種90%的強(qiáng)大功能 無復(fù)雜設(shè)定,操作簡單,短時...

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品信息
特殊長度
  • 支持從薄膜到厚膜的各種薄膜厚度

  • 使用反射光譜分析薄膜厚度

  • 實現(xiàn)非接觸、非破壞的高精度測量,同時體積小、價格低

  • 簡單的條件設(shè)置和測量操作!任何人都可以輕松測量薄膜厚度

  • 通過峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法、優(yōu)化法等,可以進(jìn)行多種膜厚測量。

  • 非線性最小二乘法薄膜厚度分析算法可以進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光計數(shù))。

測量項目
  • 反射率測量

  • 膜厚分析(10層)

  • 光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光計數(shù))

測量對象
  • 功能膜、塑料
    透明導(dǎo)電膜(ITO、銀納米線)、相位差膜、偏光膜、AR膜、PET、PEN、TAC、PP、PC、PE、PVA、粘合劑、膠粘劑、保護(hù)膜、硬涂層、防指紋, 等等。

  • 半導(dǎo)體
    化合物半導(dǎo)體、Si、氧化膜、氮化膜、Resist、SiC、GaAs、GaN、InP、InGaAs、SOI、藍(lán)寶石等。

  • 表面處理
    DLC涂層、防銹劑、防霧劑等。

  • 光學(xué)材料
    濾光片、增透膜等。

  • FPD
    LCD(CF、ITO、LC、PI)、OLED(有機(jī)膜、封裝材料)等

  • 其他
    HDD、磁帶、建筑材料等

原理

測量原理

大冢電子利用光學(xué)干涉儀和自有的高精度分光光度計,實現(xiàn)非接觸、無損、高速、高精度的薄膜厚度測量。光學(xué)干涉測量法是一種使用分光光度計的光學(xué)系統(tǒng)獲得的反射率來確定光學(xué)膜厚的方法,如圖 2 所示。以涂在金屬基板上的薄膜為例,如圖1所示,從目標(biāo)樣品上方入射的光被薄膜表面(R1)反射。此外,穿過薄膜的光在基板(金屬)和薄膜界面(R2)處被反射。測量此時由于光程差引起的相移所引起的光學(xué)干涉現(xiàn)象,并根據(jù)得到的反射光譜和折射率計算膜厚的方法稱為光學(xué)干涉法。分析方法有四種:峰谷法、頻率分析法、非線性最小二乘法和優(yōu)化法。

膜厚測量原理圖
 

規(guī)格
規(guī)格
類型薄膜型標(biāo)準(zhǔn)型
測量波長范圍300-800nm450-780nm
測量膜厚范圍
(SiO 2換算)
3nm-35μm10nm-35μm
光斑直徑φ3mm / φ1.2mm
樣本量φ200×5(高)mm
測量時間0.1-10s內(nèi)
電源AC100V ± 10% 300VA
尺寸、重量280 (W) x 570 (D) x 350 (H) 毫米,24 公斤
其他參考板,配方創(chuàng)建服務(wù)
設(shè)備配置
光學(xué)家譜

FE-300膜厚測量光學(xué)系統(tǒng)圖

 

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