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測(cè)量顯微鏡107JPC

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測(cè)量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室，生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門(mén)。測(cè)量顯微鏡107JPC是光、機(jī)、電一體化的高科技精密測(cè)量?jī)x器

詳細(xì)介紹

測(cè)量顯微鏡107JPC

一、用途：

測(cè)量顯微鏡107JPC采用透、反射的方式對(duì)工件長(zhǎng)度和角度作精密測(cè)量。特別適用于大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密另件測(cè)量。廣泛地適用于計(jì)量室，生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門(mén)。

在107J基礎(chǔ)上加裝光柵測(cè)量尺，數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，將測(cè)量數(shù)據(jù)導(dǎo)入計(jì)算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，可進(jìn)行各種復(fù)雜的二維幾何測(cè)量。測(cè)量顯微鏡107JPC是光、機(jī)、電一體化的高科技精密測(cè)量?jī)x器。

二、技術(shù)規(guī)格

鏡筒	粗　　　動(dòng)		調(diào)節(jié)范圍 90毫米
	微　　　動(dòng)		調(diào)節(jié)范圍 2毫米
	高（Z)測(cè)量		1毫米更小讀數(shù)0.001毫米（干分表讀數(shù)）
	鏡　　　筒		雙目鏡筒俯角45°
工作臺(tái)	左右（X軸）		移動(dòng)范圍50毫米
	前后（Y)軸		移動(dòng)范圍50毫米
	分　辨　率		1微米
	旋　　　轉(zhuǎn)		360°
照明系統(tǒng)	光源	透射照明	8V-15W 藍(lán)、綠濾色片
		反射照明	8V-12W 磨砂燈泡綠色濾色片
		斜照明	8V-15W
	電　　源		AC 220V±10% 50/60HZ
光學(xué)系統(tǒng)	目　　鏡		BWF 10X
	物　　鏡		4X 工作距離17.5 焦距28.8
			10X 工作距離11.6 焦距15.4
			40X 工作距離0.66 焦距4.4