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外延片（硅片）腐蝕清洗機(jī)

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概述：本機(jī)控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式

詳細(xì)介紹

外延片（硅片）腐蝕清洗機(jī)(圖1)

概述：

本機(jī)控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式。

主要特點(diǎn)：

清洗規(guī)格：

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件；腐蝕工藝自動(dòng)補(bǔ)藥液，保證了工藝槽在運(yùn)行過(guò)程中濃度的穩(wěn)定性。

（溫度，時(shí)間，DIW水清洗模式、時(shí)間可調(diào)）手動(dòng)由觸摸屏界面可設(shè)定。

藥液供給及補(bǔ)液方式：分體式CDS自動(dòng)供夜系統(tǒng)；DI槽配有在線式水質(zhì)檢測(cè)裝置；配有分體式廢液回收系統(tǒng)。

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