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超高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)LEGEX系列

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上海洛豐精密檢測(cè)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

LEGEX系列為超高精度CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，具有世界上高精度水平，對(duì)大部分可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并較大程度地降低其影響。固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承在高剛性導(dǎo)軌上運(yùn)行確保了良好的運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性和高幾何精度。采用FEM結(jié)構(gòu)分析模擬的測(cè)試保證了幾何運(yùn)動(dòng)精度，使負(fù)荷及其它變量波動(dòng)造成的誤差降至最小。另外，其他多種技術(shù)如抗振測(cè)量等用于驅(qū)動(dòng)單元結(jié)構(gòu)中，實(shí)現(xiàn)了高精度。

詳細(xì)介紹

規(guī)格：

型號(hào)		LEGEX 574	LEGEX 774	LEGEX 776	LEGEX 9106
測(cè)量范圍	X軸	500mm	700mm	700mm	900mm
	Y軸	700mm	700mm	700mm	1000mm
	Z軸	450mm	450mm	600mm	600mm
測(cè)量方法		超高精度線性編碼器
測(cè)量速度		200mm/s
加速度		980mm/s2
分辨力		0.00001mm
導(dǎo)向系統(tǒng)		各軸均采用氣浮軸承
工作臺(tái)	材料	鑄鐵*
	尺寸	550×750mm	750×750mm	750×750mm	950×1050mm
	緊固用螺釘孔	M8x1.25mm (工件固定用)
測(cè)量高度		701mm	701mm	851mm	851mm
負(fù)載		250kg	500kg	500kg	800kg
重量		3500kg	5000kg	5100kg	6500kg
空氣供給	氣壓	0.5MPa
	消耗量	(正常情況下)120L/min(空氣源160L/min以上）

*：也可選擇陶瓷涂層。

LEGEX系列主機(jī)精度：

使用測(cè)頭	容許指示誤差
	ISO 10360-2:2009(JIS B 7440-2:2013)
MPP310Q	EO,MPE=(0.28+L/1000)um(溫度環(huán)境1）
	EO,MPE=(0.3+L/1000)um(溫度環(huán)境2）