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便攜式激光平面干涉儀

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用途:本司自行設(shè)計(jì)、制作的XQ60-G1型便攜式激光平面干涉儀近期己完成樣機(jī)的總裝與調(diào)試

詳細(xì)介紹

用途:
本司自行設(shè)計(jì)、制作的XQ60-G1型便攜式激光平面干涉儀近期己完成樣機(jī)的總裝與調(diào)試。該儀器的投放市場(chǎng)限度地減輕了操作人員的工作強(qiáng)度;更適用于大批量生產(chǎn)的檢驗(yàn);配以計(jì)算機(jī)可直接將被檢測(cè)鏡面的原始資料通過計(jì)算機(jī)保存和傳輸,以達(dá)到資料存檔及遠(yuǎn)程監(jiān)控、驗(yàn)收評(píng)定質(zhì)量的目的,是國(guó)產(chǎn)激光平面干涉儀產(chǎn)業(yè)新的發(fā)展。
技術(shù)參數(shù):
標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),工作直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準(zhǔn)直系統(tǒng) ——————————————— 工作直徑Φ60mm,焦距f=200mm

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