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硅片搬送機(jī)

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更新時(shí)間：2025-07-23 08:53:05瀏覽次數(shù)：29次

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  晶圓搬運(yùn)機(jī)

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蘇州拜特微光電科技有限公司

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商鋪產(chǎn)品：48條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：孫工

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產(chǎn)品簡介

硅片搬送機(jī)采用不同的觀察方式：明場、暗場、微分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。硅片搬送機(jī)支持不同尺寸的硅片傳輸，具有360度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)而完成硅片的宏觀檢查。這一設(shè)計(jì)可以方便的發(fā)現(xiàn)硅片正反面上的缺陷和顆粒。另外，可以通過使用搖桿將硅片傾斜30度進(jìn)行宏觀檢查，提高了檢查效率?？蓚鬏敵」杵榱藨?yīng)對(duì)更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片，此款傳輸手臂可以應(yīng)對(duì)25片裝的200mm的片盒以及到90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查。另外，還可通過面板預(yù)設(shè)近10種不同厚度的硅片信息。

詳細(xì)介紹

技術(shù)規(guī)格:Technical specifications

型號(hào)

200 mm專用型

200 mm/150 mm 兼用型

150 mm型

晶圓尺寸SEMI規(guī)格

200mm

200mm/150mm

150mm/125mm/100mm

晶圓最小厚度

90μm

180μm

400μm

150μm

片盒類型*

SEMI stad.25(26)-slot

片盒數(shù)

檢查模式

全部檢查／抽樣檢查

搬

運(yùn)

順

序

微觀檢查（顯微鏡檢查）

表面宏觀檢查

背面宏觀檢查

二次背面宏觀檢查

晶圓定位（每 90o）

非接觸（定位平邊／V型槽）

非接觸（定位平邊）

適配顯微鏡型號(hào)l

奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61L

尺寸（mm）

640(W) X 620(D) X 378(H) Body Only,1100(W) X 620(D) X 378(H) with Microscope

570(W) X 620(D) X 400(H) Body Only,980(W) X 620(D) X 400(H) with Microscope

重量（kg）（僅主機(jī)部分）

使用環(huán)境（電源／真空）

AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上

12寸

型號(hào)	AL120-LMB12-LP	AL120-LMB12-F
晶圓尺寸	300mm（SEMI M1.15t=775μm）可選：200mm
卡盒數(shù)	單盒（裝載、卸載兼用）
卡盒設(shè)置高度	900mm
裝載端口	有	無
搬運(yùn)順序	表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
晶圓校準(zhǔn)	非接觸式中心環(huán)
晶圓搬送方式	真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
應(yīng)用環(huán)境	AC100-120V，220~240V,3.0/1.7A,50/60Hz，真空 60~80Kpa
適用顯微鏡	半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L