● 底座——鑄鐵基座保證整體穩(wěn)定性。
● 光源——高亮度長壽命LED照明系統(tǒng)。
● 傳動——采用無間隙絲杠傳動載物臺,保證測量精度。
● 導(dǎo)軌——采用德國線形高精度導(dǎo)軌。
● 調(diào)焦——粗、微調(diào)焦裝置,微調(diào)最小每格1um。
● 載物臺——高精度2.0+L/200um(L為測量長度)。
● 底座——鑄鐵基座保證整體穩(wěn)定性。
● 光源——高亮度長壽命LED照明系統(tǒng)。
● 傳動——采用無間隙絲杠傳動載物臺,保證測量精度。
● 導(dǎo)軌——采用德國線形高精度導(dǎo)軌。
● 調(diào)焦——粗、微調(diào)焦裝置,微調(diào)最小每格1um。
● 載物臺——高精度2.0+L/200um(L為測量長度)。
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