飛納臺(tái)式掃描電鏡 (Desktop SEM) Phenom ProX 是的電鏡能譜一體機(jī)，集掃描電鏡成像與能譜元素分析為一體。 使用 Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)，既可以觀察樣品的形貌，同時(shí)又能進(jìn)行元素的定性和定量分析。除了元素的點(diǎn)分析，元素的線面掃 功能可以進(jìn)一步分析元素的分布情況。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
Phenom ProX 電鏡能譜一體 成像 & 元素分析一體化
集成 EDS 集成 EDS 軟硬件，元素分析與成像一樣簡(jiǎn)單
理想的加速電壓 5 kV -15 kV 連續(xù)可調(diào)，5 kV -10 kV 用于高分 辨率成像，15 kV 用于元素分析
放大倍數(shù) 放大倍數(shù)可達(dá) 150,000x
元素的線面掃 獲得樣品中元素的分布情況
丟失導(dǎo)航 彩色光學(xué)導(dǎo)航，快速定位至目標(biāo)位置
飛納臺(tái)式掃描電鏡系列產(chǎn)品都具有操作界面直觀，快速方便獲取 結(jié)果，優(yōu)質(zhì)高分辨成像的特點(diǎn)。秉承這些核心的設(shè)計(jì)理念，荷蘭 掃描電鏡制造商 Phenom-World 開發(fā)和研制出 Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)，并使其成為的集成像和元素分析為一體的 臺(tái)式科研設(shè)備。研究人員除了需要觀測(cè)樣品立體的微觀形貌，通 常也需要分析樣品的元素組成。
這些需求可以通過 Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)實(shí)現(xiàn)，ProX 擁 有元素識(shí)別軟件 (EID)，并有一個(gè)特殊設(shè)計(jì)的 EDS 探頭集成在飛 納臺(tái)式掃描電鏡主機(jī)內(nèi)。Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)操作簡(jiǎn) 便快捷，是掃描電鏡成像和元素分析的。通過特殊的樣 品杯，可以實(shí)現(xiàn)樣品的旋轉(zhuǎn)，冷凍觀察。通過這些樣品杯，飛納 臺(tái)式掃描電鏡 Phenom ProX 電鏡能譜一體機(jī)的功能可進(jìn)一步增 強(qiáng)，滿足多樣化的樣品分析需求。
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
| 成像模式 | 圖像檢測(cè) | ||
| 光學(xué)顯微鏡 | 放大倍數(shù)：20 - 135 x | 光學(xué) | 彩相機(jī) |
| 電子顯微鏡 | 放大倍數(shù)：80 - 150,000 x | 電子光學(xué) | 高靈敏度四分割背散射電子探測(cè)器 具有成分模式和形貌模式 可以同時(shí)檢測(cè)形貌和成分 二次電子探測(cè)器 (SED) 選配 |
| 數(shù)字放大：max. 12 x | 圖像格式 | JPEG, TIFF, BMP | |
| 照明 | 圖像分辨率選項(xiàng) | 456 x 456, 684 x 684, 1024 x 1024 和 2048 x 2048 像素 | |
| 光學(xué) | 明場(chǎng)和暗場(chǎng)模式 | 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) | ? USB 閃存 ? 網(wǎng)絡(luò)存儲(chǔ) ? ProSuite PC |
| 電子光學(xué) | 長壽命、高亮度的 CeB6 燈絲 | 樣品臺(tái) | 電腦控制的全自動(dòng)馬達(dá)樣品臺(tái) |
| 加速電壓 | 基本模式：5 kV, 10 kV 和 15 kV | 樣品尺寸 | ? 直徑 25 mm (?) ? 高度 30 mm (h) |
| 高級(jí)模式：4,8 kV - 15 kV 連續(xù)可 調(diào)用于成像和元素分析 | 樣品裝載時(shí)間 | ||
| 分辨率 | ≤ 10 nm (BSD) | 抽真空時(shí)間 | < 15 s |
| ≤ 8 nm (SED) | 成像時(shí)間 | < 30 s |
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