產(chǎn)品優(yōu)勢
◆ 光學(xué)金相顯微鏡和原子力顯微鏡一體化設(shè)計,功能強大
◆ 同時具備光學(xué)顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時工作,互不影響
◆ 同時具備光學(xué)二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能
◆ 激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結(jié)構(gòu)非常穩(wěn)定,抗干擾性強
◆ 精密探針定位裝置,激光光斑對準調(diào)節(jié)非常簡便
◆ 單軸驅(qū)動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品
◆ 超高倍光學(xué)定位系統(tǒng),實現(xiàn)探針和樣品掃描區(qū)域精確定位
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用案例