溫度范圍:室溫~600℃
透 光 孔:φ2.5 mm
加熱體:承樣平臺
觀察窗口至樣品觀察距離: 5 mm
電 極:雙電極,BNC 或SMA 或LEMO 或2mm接口
升溫速率:80 ℃/min
溫度顯示與控制精度:0.1 ℃/0.3 ℃
溫度控制:調(diào)節(jié)器精度0.2級,PID人工智能控制,50段程序
溫控軟件:中英文界面切換,實時操控,多點溫度校正、可設(shè)置溫速、控溫區(qū)間等,工藝曲線顯示與記錄
實驗環(huán)境:腔體密閉,可通隋性氣氛
冷卻方式:循環(huán)水冷
整套配置:熱臺、循環(huán)冷卻水泵,熱臺溫度控制儀,溫度控制軟件,制箔器等