一、產(chǎn)品概述
西安氣體流量計(jì)(Mass Flow Meter縮寫為MFM)和氣體流量控制器(Mass Flow Controleiig寫為MFC)用 于對(duì)微小氣體的流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。是結(jié)合微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng) 技術(shù)歷經(jīng)多年,開發(fā)出的智能化全電子式氣體流量?jī)x表。主要技術(shù)性能處于國(guó)際..水平，具有高靈敏 度、高精度、大量程比等特點(diǎn)：針對(duì)工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì)：且具有多種信號(hào) 輸岀，能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能：本產(chǎn)品在性能' 安裝、維護(hù)方面也具有其的*性?？蓮V 泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。典型特點(diǎn)如下：
-采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長(zhǎng)技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到 了微米量級(jí)，使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。
-在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使該流量計(jì)的量程比(范圍度)大大提高。
-傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)有極大的改善。
?結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。
-技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了 能源消耗。
-微功耗設(shè)計(jì)，采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量，清晰直觀，讀數(shù)方便。
-產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有更高抗力。
-流量計(jì)帶有RS485通訊模塊，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。
二、典型應(yīng)用
氣體流量計(jì)/流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而
廣泛的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺
射、離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、
混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其
它各種類型的分析儀器。
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)芯片傳感技術(shù)，是在硅芯片上集成了具有 機(jī)械和電子特征的微米級(jí)傳感器.它并不是簡(jiǎn)單地將機(jī)械和電子 功能微縮在芯片上，而是采用了現(xiàn)代材料制作技術(shù)與大規(guī)模集成 電路技術(shù)相結(jié)合獲得新的機(jī)電特性。微機(jī)電系統(tǒng)芯片可獲得某些 宏觀機(jī)電器件所不能達(dá)到的功效.同時(shí)采用了多傳感器和微熱源 技術(shù)，使其具備了優(yōu)良的穩(wěn)定性、響應(yīng)時(shí)間短和超大量程等特 點(diǎn)。OPEC-MFM系列氣體質(zhì)量流呈計(jì)主要由電源模塊、MEMS流 量傳感芯片、信號(hào)處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、EEPROM存儲(chǔ)器、 RTC實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊以及顯示模塊組成.見右圖(圖1).
OPEC-MFC由流量傳感器、分流器通道、流量控制電磁調(diào)節(jié) 閥和放大控制電路等部件組成。
OPEC-MFC利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布。
該產(chǎn)品利用流體流動(dòng)傳遞熱量改變測(cè)量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳導(dǎo)效應(yīng)而制成，采用毛細(xì)管傳熱溫差 量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，可以在一定范圍不受溫度壓力的影響。將傳感器測(cè)得的流量檢測(cè)信號(hào)進(jìn) 行放大。然后與設(shè)定的流量電壓信號(hào)進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通 道的實(shí)際流量使之與設(shè)定的流量期望值相等。分流器在主通道和毛細(xì)管間產(chǎn)生穩(wěn)定的層流狀態(tài)，用以調(diào)整。
2、產(chǎn)品安裝
本產(chǎn)品推薦為水平安裝.基座上的箭頭標(biāo)記方向?yàn)榻橘|(zhì)流向.介質(zhì)進(jìn)出端口連接必須正確，進(jìn)口需裝高 效過濾器。
安裝步驟如下：
Q)取出流量計(jì)后檢査其外表,確定無損傷；
(2) 連接并清潔管道；
(3) 將流量計(jì)安裝到管道上，并注意如下事項(xiàng)；
① 為了保證流量計(jì)的計(jì)量準(zhǔn)確性，安裝時(shí)要先連接流量計(jì)的上游端，上游直管段應(yīng)滿足10DN的.低要
求，下游直管段應(yīng)滿 足5DN的.低要求。
② 流量計(jì)安裝時(shí)不能有任何密封物質(zhì)滲入管道內(nèi).
(4) 連接電源電纜線，需要注意接線時(shí)的極性，確保輸入的直流電壓在(5~12)VDC ；
(5) 如需要連接信號(hào)線，應(yīng)保障信號(hào)線與相應(yīng)用戶界面端連接無誤；
(6) 接通電源.液晶屏顯示正確；
(7) 開啟管道上下游的閥門，流量計(jì)開始計(jì)量管道中的氣體流量。
