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LRTP-1200快速退火爐

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱杭州華盼科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號LRTP-1200
  • 所  在  地杭州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/8/23 17:47:11
  • 訪問次數(shù)133
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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杭州華盼科技有限公司成立于2013年,坐落于美麗的“天堂之都”杭州,專業(yè)從事各類國內(nèi)外科學(xué)儀器、測量儀器、實驗室設(shè)備產(chǎn)品銷售、技術(shù)推廣、售后服務(wù)、技術(shù)開發(fā)等為一體綜合發(fā)展的高科技公司,為高校、科研及工業(yè)用戶提供測試測量設(shè)備、分析儀器及解決方案。 華盼人始終堅持“客戶至上、用心服務(wù)、誠信立業(yè)、合作共贏”的經(jīng)營理念,秉承“誠信、嚴(yán)謹(jǐn)、熱情、高效”的企業(yè)作風(fēng),發(fā)揚“團結(jié)、務(wù)實、拼搏、創(chuàng)新”的企業(yè)精神,立足廣大客戶,以誠信經(jīng)營參與競爭,以優(yōu)質(zhì)服務(wù)占領(lǐng)市場,與時俱進,共同發(fā)展!竭誠希望與廣大的客戶建立一個長期互贏的合作關(guān)系!
簡要描述:武漢嘉儀通 LRTP-1200快速退火爐是采用紅外輻射加熱技術(shù),可實現(xiàn)大尺寸樣品(4英寸)快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達到的溫場均勻性,對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。
LRTP-1200快速退火爐 產(chǎn)品信息

快速退火爐LRTP-1200,采用紅外輻射加熱技術(shù),可實現(xiàn)大尺寸樣品(4英寸)快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達到的溫場均勻性,對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

快速退火爐應(yīng)用案例

快速熱處理,快速退火,快速熱氧化,快速熱氮化

離子注入/接觸退火

SiAu, SiAl, SiMo合金化

太陽能電池片鍵合

電阻燒結(jié)

低介電材料熱處理

晶體化,致密化

其他熱工藝需求

快速退火爐產(chǎn)品特點

可測大尺寸樣品 可測單晶片樣品的蕞大尺寸為4英寸(100mm)。

快速控溫與高真空高升溫速率可達100℃/s,真空度蕞高可達到10Pa。

程序設(shè)定與氣路擴展多可創(chuàng)建和存儲32個程序、8個PID設(shè)定,實現(xiàn)不同溫度段的精確測試。蕞多可擴展至4條工藝氣路(MFC),應(yīng)用不同氣氛環(huán)境(真空、氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣體等)。

全自動智能控制 采用全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空、氣氛、冷卻水等均可實現(xiàn)自動控制。

超高安全系數(shù) 采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權(quán)限保護以及設(shè)備急停安全保護三重安全措施,保障儀器使用安全。

快速退火爐技術(shù)參數(shù)

型號

LRTP-1200

蕞高溫度

1150℃

蕞高升溫速率

100℃/s

蕞快降溫速度

200℃/min(1000℃-->400℃)

控溫精度

≤0.1℃

溫場均勻性

≤0.5%

腔體冷卻

水冷方式,獨立冷卻源

襯底冷卻

氮氣吹掃

工藝氣路

MFC控制,4路(可選氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等)

主機尺寸

450×625×535,單位mm

對比
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