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SuperView W1 白光3D表面輪廓儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱中山利豐精密測量儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地中山市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/2/15 16:09:36
  • 訪問次數(shù)231
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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中山利豐精密測量儀器有限公司 (zhongshan lifeng Precision measuring instrument Co., Ltd.)位于由國家、廣東省政府和中山市政府共同創(chuàng)辦的高新區(qū)中山火炬高技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)中心城區(qū)港義路創(chuàng)意產(chǎn)業(yè)園區(qū)3號商務(wù)樓大唐盛視10樓1002室。地理交通發(fā)達(dá)的珠江口,廣珠高速公路、京珠高速、沿海高速、江中高速公路以及廣珠輕軌等。公司產(chǎn)品廣泛適用于生產(chǎn)制造五金、模具、航空、汽車、印刷、塑料、橡膠、礦山、冶金、化工、制藥、食品等行業(yè)。 公司主要經(jīng)營推廣各種長度幾何計(jì)量和檢測儀器。代理的品牌主要來自日本、美國、德國以及國內(nèi)一些品牌。其中部分品牌我公司為中國代理商,與他們保持著良好的往來及經(jīng)濟(jì)貿(mào)易關(guān)系。幾年的發(fā)展,我公司儀器儀表部逐年壯大,現(xiàn)已培養(yǎng)了大量技術(shù)人才,擁有雄厚的經(jīng)濟(jì)及技術(shù)實(shí)力。 中山利豐精密測量儀器有限公司致力于長度計(jì)量儀器、光學(xué)儀器、形狀儀器、材料檢測儀器、涂裝與表面處理檢測儀器、工業(yè)分析儀器以及機(jī)床設(shè)備、五金配件的銷售與維護(hù)服務(wù)。專業(yè)的銷售和技術(shù)人員為客戶提供快捷的售前(演示設(shè)備、介紹)售中(為客戶選型、滿足客戶要求)售后(設(shè)備維修、保養(yǎng)問題),在客戶需要的時候,我們的專業(yè)人員即到客戶現(xiàn)場提供急需的服務(wù)。 本公司堅(jiān)信“誠信為本,服務(wù)為上”的經(jīng)營理念、以專業(yè)技術(shù)、保質(zhì)保量的服務(wù)與國內(nèi)外多家企業(yè)保持著穩(wěn)定長期的業(yè)務(wù)往來、使業(yè)務(wù)領(lǐng)域不斷拓展國外及內(nèi)地各省市和地區(qū)、得到業(yè)界普遍信賴及客戶廣泛好評、本公司將一如既往的為廣大客戶著想。在為市場提供的產(chǎn)品和最完善的服務(wù)中,極大地發(fā)展公司的潛力。上千種國內(nèi)外產(chǎn)品 成為客戶工廠實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備綜合服務(wù)供應(yīng)商。
產(chǎn)品型號:SuperViewW1產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀影像系統(tǒng):10241024(20482048
SuperView W1 白光3D表面輪廓儀 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品型號:SuperView W1

產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀

  • 影像系統(tǒng):1024×1024(2048×2048,2592×1944可選)
  • 光學(xué)Zoom:1×,(0.75×,0.5×可選)
  • 干涉物鏡:2.5×,5×,10×,20×,50×
  • XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電控
  • XY橫向分辨率:≤0.4μm
  • Z軸行程:≥100mm
  • Z向分辨率:0.1nm
  • 客服   

詳細(xì)信息

  一、 產(chǎn)品描述

 

  •   SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、 結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析, 并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

     

      SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、 汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工、科研院所等領(lǐng)域中??蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面, 從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

二、    產(chǎn)品功能

 

  • 1)具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能;

    2)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別;

    3)具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能;

    4)具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能;

    5)具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能;

    6)具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能;

    7)具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能;

三、    應(yīng)用領(lǐng)域

 

  •   對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、 加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

    應(yīng)用范例:

    半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC

    3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差

    超精密加工.光學(xué)透鏡

    精密加工.發(fā)動機(jī)葉片

    精密加工.金字塔型金剛石磁頭

    標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺階、多刻線粗糙度

四、性能特色

 

1.高精度、高重復(fù)性

 

  • 1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;

    2)的隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲, 保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得的測量重復(fù)性;

2.一體化操作的測量分析軟件

 

  • 1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能;

    2)可視化窗口,便于用戶實(shí)時觀察掃描過程;

    3)結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;

    4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;

    5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能;

    6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

3.精密操縱手柄

 

  •   集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4.主動式隔振臺

 

  •   具備空間6自由度的檢測和平衡控制,氣浮自適應(yīng)模式,能有效隔離2HZ以上振動噪聲,其中2HZ=15dB噪聲隔振效果達(dá)到90%, 5HZ=28dB噪聲隔振效果達(dá)到97%,10HZ=40dB噪聲隔振效果達(dá)到99%;

5.持續(xù)的功能優(yōu)化

 

  •   圍繞客戶需求進(jìn)行持續(xù)的軟硬件升級優(yōu)化,定期更新軟件版本進(jìn)行升級,提供適度的功能定制服務(wù);

6.雙重防撞保護(hù)措施

 

  •   除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時, 儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

     

五、應(yīng)用案例:

 

  • 某單位復(fù)合材料測量

    西華大學(xué)水機(jī)葉片磨損檢測

    • 光學(xué)3D輪廓儀
    • 影像系統(tǒng):1024×1024(2048×2048,2592×1944可選)
    • 光學(xué)Zoom:1×,(0.75×,0.5×可選)
    • 干涉物鏡:2.5×,5×,10×,20×,50×
    • XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電控
    • XY橫向分辨率:≤0.4μm
    • Z軸行程:≥100mm
    • Z向分辨率:0.1nm
    • 單次Z向掃描范圍:10.3mm,厚度重復(fù)性≤1nm
    • Z向掃描速度:≥45μm/s
    • 可測樣品高度:≥100mm
    • 可測樣品反射率:0.05%-99%
    • 水平調(diào)整:±5°
    • 粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
    • 臺階高測量:準(zhǔn)確度<0.7%,重復(fù)性<0.1% 1σ
    • 主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效
    • 生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
    • 注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請自行下載解決方案查閱或者聯(lián)系我們獲取
    • 物鏡倍率

      2.5×

      10×

      20×

      50×

      數(shù)值孔徑

      0.075

      0.13

      0.3

      0.4

      0.55

      可測樣品角度

      4.3°

      7.5°

      17.5°

      23.5°

      33.4°

      光學(xué)分辨率@550nmµm

      3.7

      2.1

      0.92

      0.69

      0.5

      焦深(µm

      48.6

      16.2

      3.04

      1.71

      0.9

      工作距離(mm

      10.3

      9.3

      7.4

      4.7

      3.4

     

     

    附錄1.依據(jù) ISO/ASME/EUR/GBT等國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算的2D,3D參數(shù)表:

      2D參數(shù)表

    標(biāo)準(zhǔn)名

    參數(shù)

    ISO 4287-1997

     

    主剖面

    粗糙度

    波紋度

    振幅參數(shù)

    Pp, Pv ,Pz, Pc, Pt,Pa,Pq,Psk,Pku

    Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku

    Wp, Wv ,Wz, Wc, Wt, Wa,Wq,Wsk,Wku

    間距參數(shù)

    PSm,Pdq

    RSm,Rdq

    WSm,Wdq

    物料比參數(shù)

    Pmr,Pdc

    Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4)

    Wmr,Wdc,Wmr(Wz/4)

    峰值參數(shù)

    PPc

    RPc

    WPc

    ISO 13565

    ISO 13565-2

    Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Rpk,Rvk

    ISO 12085

    粗糙度圖形參數(shù)

    R,AR,R× ,Nr

    波紋度圖形參數(shù)

    W,AW,W×,Wte

    其他圖形參數(shù)

    Rke,Rpke,Rvke

    AMSE B46.1

    2D參數(shù)

    Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm,Wt

    DIN EN ISO 4287-2010

    原始輪廓參數(shù)

    Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

    粗糙度參數(shù)

    Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,

    波紋度參數(shù)

    Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

    JIS B0601-2013

    原始輪廓參數(shù)

    Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

    粗糙度參數(shù)

    Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

    波紋度參數(shù)

    Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

    GBT 3505-2009

    原始輪廓參數(shù)

    Pa,Pq,Pp,Pv,Pz,Pc,Pt,PSk,PKu,PSm,PPc,Pdq,Pdc,Pmr,

    粗糙度參數(shù)

    Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr

    波紋度參數(shù)

    Wa,Wq,Wp,Wv,Wz,Wc,Wt,WSk,WKu,WSm,WPc,Wdq,Wdc,Wmr

    3D參數(shù)表

    標(biāo)準(zhǔn)名

    參數(shù)

    ISO 25178

    高度參數(shù)

    Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa

    函數(shù)參數(shù)

    Smr,Smc,S×p

    空間參數(shù)

    Sal,Str,Std

    復(fù)合參數(shù)

    Sdq,Sdr

    體積參數(shù)

    Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv

    形態(tài)參數(shù)

    Spd,Spc,S10z,S5p,S5v,Sda,Sha,Sdv,Shv

    功能參數(shù)

    Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq

    ISO 12781

    平面度參數(shù)

    FLTt,FLTp,FLTv,FLTq

    EUR 15178N

    振幅參數(shù)

    Sa,Sq,Sz,Ssk,Sku,Sp,Sv,St

    空間參數(shù)

    Str,Std,Sal

    復(fù)合參數(shù)

    Sdq,Sds,Ssc,Sdr,Sfd

    面積體積參數(shù)

    Smr,Sdc

    函數(shù)參數(shù)

    Sk,Spk,Svk,Sr1,Sr2,Spq,Svq,Smq

    功能性指標(biāo)參數(shù)

    Sbi,Sci,Svi

    EUR 16145 EN

    振幅參數(shù)

    Sa,Sq,Sy,Sz,Ssk,Sku

    混合參數(shù)

    Ssc,Sdq,Sdr

    功能性指標(biāo)

    Sbi,Sci,Svi,Sk,Spk,Svk

    空間參數(shù)

    Sds,Std,Stdi,Srw,Srwi

    硬度參數(shù)

    Hs,Hvol,Hv,Hps,Hpvol,Hpv,Hap,Hbp

    ASME B46.1

    3D參數(shù)

    St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt

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