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BW 228-3FA 全自動晶圓貼片壓合機(jī)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2023-02-20 12:45:57瀏覽次數(shù):537次

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商鋪產(chǎn)品:47條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:廖總

產(chǎn)品簡介

228-3FA 全自動晶圓貼片壓合機(jī),壓合受力均勻,快速抽換膜料和更換廢料滾動條。

詳細(xì)介紹

BW 228-3FA 全自動晶圓貼片壓合機(jī)

賣點

。SECS / GEM 功能
。適用單面 / 雙面膜
。全自動貼片壓合 ( 可貼合晶圓 + 陶瓷盤 / 玻璃等材料 )

機(jī)臺優(yōu)勢

。壓合受力均勻
??焖俪閾Q膜料和更換廢料滾動條。

作業(yè)方式

步驟一:操作人員將 6 吋晶圓卡匣、晶圓載盤卡匣、及各膜料放置預(yù)定位置后開始作業(yè)。

步驟二:利用機(jī)械手臂,將 6 吋晶圓從卡匣取出,經(jīng)中心對位及正反面判讀后,再放置于晶圓吸附平臺上。

步驟三:晶圓吸附平臺移至膠膜貼合位,利用壓輪及夾膜機(jī)構(gòu)夾住膠膜并滾壓移載臺移動至切割位。

步驟四:切割刀下降至預(yù)定位置,旋轉(zhuǎn)刀具切割膜料,切割完成后上升。

步驟五:移載臺移至撕膜位,利用撕膜膠帶將6吋晶圓上之離型膜黏起后,移載臺移至真空壓合位。

步驟六:機(jī)械手臂將晶圓載盤從卡匣取出,經(jīng)中心對位及正反面判讀后,再放置于上吸附盤。

步驟七:真空壓合機(jī)構(gòu)下降至預(yù)定位置,真空罩開始吸真空,到達(dá)預(yù)定真空值后開始進(jìn)行 6 吋晶圓與晶圓載盤之貼合。

步驟八:完成貼合后,機(jī)械手臂再將成品取回,放置成品區(qū)卡匣,完成。

《持續(xù)重復(fù)步驟二~步驟八?!?/span>

設(shè)備規(guī)格

設(shè)備尺寸

2800 mm × 1200 mm × 2500 mm ( W×D×H )

設(shè)備重量

2000 kg

電源AC

3 Ø 220 V ∕ 50 A

空氣源

5~8 Kgf/cm2 (12 ØTube)

設(shè)備應(yīng)用范圍

晶圓尺寸

6″

晶粒尺寸

雷切深度

貼合物尺寸

8″

機(jī)臺特性:

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