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高剛性研磨機(jī)--HRG300

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更新時(shí)間：2023-10-09 12:20:45瀏覽次數(shù)：178次

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高剛性研磨機(jī)--HRG300

詳細(xì)介紹

HRG300 既可以對(duì)大尺寸晶圓（300 ｍｍ）進(jìn)行單枚加工，也可以對(duì)小直徑工件進(jìn)行多枚同時(shí)加工。

特點(diǎn)

■ 高剛性

■ 高加工效率

■ 低消耗

■ 搭載多枚同時(shí)加工的 IPG 功能

■ 加工時(shí)的磨輪修正單元（選配）

可研磨材料：難加工的硬脆材料，比如藍(lán)寶石，碳化硅，氮化鎵和氮化鋁

可加工尺寸：直徑2-12英寸

可加工厚度：20mm(包含基座)

●規(guī)格參數(shù)

類別	HRG300
類別	高剛性研磨機(jī)
設(shè)備尺寸和重量	尺寸：1540（W）×1880(D)×2010(H) mm
設(shè)備尺寸和重量	重量：3700 kg
加工直徑（mm）	300
磨輪直徑（mm）	300
磨輪轉(zhuǎn)速（rpm）	3600
工作臺(tái)轉(zhuǎn)速(rpm)	400
主軸功率(KW)	11
工作臺(tái)功率（KW）	2
全自動(dòng)監(jiān)測(cè)	實(shí)時(shí)測(cè)量治具（支持多片同時(shí)加工）
研磨精度（μm）	0.1
不間斷修磨	選配