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SuperViewW1表面輪廓光學(xué)測量儀微納米級微觀形貌測量中圖儀器

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更新時間：2023-03-20 11:16:38瀏覽次數(shù)：471次

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產(chǎn)品簡介

SuperViewW1表面輪廓光學(xué)測量儀微納米級微觀形貌測量，它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量

詳細(xì)介紹

SuperViewW1表面輪廓光學(xué)測量儀微納米級微觀形貌測量，它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

SuperViewW1表面輪廓光學(xué)測量儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

自動拼接測量功能操作步驟
1.點(diǎn)擊XY復(fù)位，使得鏡頭復(fù)位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；
3.確認(rèn)電機(jī)連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件；
4.使用操縱桿搖桿旋鈕調(diào)節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；
5.設(shè)置好掃描方式和掃描范圍；
6.點(diǎn)擊選項圖標(biāo)，確認(rèn)自動找條紋上下限無誤；
7.點(diǎn)擊多區(qū)域測量圖標(biāo)，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；
8.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設(shè)置；
9.點(diǎn)擊彈出框右下角的“開始”圖標(biāo)，儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。

SuperViewW1表面輪廓光學(xué)測量儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

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