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YAMATO等離子清洗機(jī)PR500

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低溫等離子·經(jīng)典桶型

詳細(xì)介紹

低溫等離子·經(jīng)典桶型。

PR500：手動(dòng)控制 PR510：自動(dòng)觸摸屏控制
內(nèi)槽
硅晶圓灰化狀態(tài)
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓，玻璃基板對(duì)應(yīng)

用途
● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔
● 小型一體化設(shè)計(jì)

規(guī)格：

型號(hào)	PR500	PR510
等離子模式	DP模式，桶形
高頻輸出功率	Max500W
頻率	13.56MHz
同調(diào)方式	自動(dòng)協(xié)調(diào)
反應(yīng)腔	石英Φ215×305mm
反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（O₂／CF₄）
控制	手動(dòng)	觸模屏自動(dòng)控制
配管材質(zhì)	不銹鋼、特氟龍
外形尺寸	W438 x D520 x H760mm	參照規(guī)格書
重量	約60kg	參照規(guī)格書
電源	單相AC100V 9A	三相AC200V 8A