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行業(yè)產品

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深圳市潔美瑞凈化設備有限公司


10級微電子潔凈室

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地深圳市

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更新時間:2024-11-14 10:52:42瀏覽次數(shù):88次

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產品簡介

微電子潔凈室概述 微電子產品生產過程中廣泛應用了高精密制造設備,這使微電子工業(yè)潔凈廠房的形式、構造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化。微電子工業(yè)潔凈廠房采用多功能組合式建筑形式日益增多,微電子產品生產工藝及其制造設備的集成化、過程控制自動......

詳細介紹

?微電子潔凈室概述

微電子產品生產過程中廣泛應用了高精密制造設備,這使微電子工業(yè)潔凈廠房的形式、構造和整體建造成本都發(fā)生了極大的變化。微電子工業(yè)潔凈廠房采用多功能組合式建筑形式日益增多,微電子產品生產工藝及其制造設備的集成化、過程控制自動化水平日益提高,安全設施日益完善,生產過程所需的作業(yè)人員大大減少,這些都提高了微電子產品生產過程的穩(wěn)定性和安全可靠性,為生產環(huán)境創(chuàng)造了良好的條件。

微電子潔凈室結構:

FFU+BAR結構+高架地板,并設置回風墻,頂部整個做為靜壓箱的設計。

微電子潔凈室潔凈度級別:

空氣潔凈度等級(N)
大于或等于所標粒徑的粒子濃度限值(個/每立方米空氣粒子)
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
 
ISO Class 1
10
2
 
 
 
 
ISO Class 2
100
24
10
4
 
ISO Class 3
1 000
237
102
35
8
 
ISO Class 4
10 000
2 370
1 020
352
83
 

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