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實(shí)驗(yàn)室硅片檢測(cè)顯微鏡 TGB-900

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實(shí)驗(yàn)室硅片檢測(cè)顯微鏡TGB-900詳細(xì)技術(shù)參數(shù)一、儀器用途　TGB-900大平臺(tái)明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察

詳細(xì)介紹

實(shí)驗(yàn)室硅片檢測(cè)顯微鏡 TGB-900詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

一、儀器用途

　TGB-900 大平臺(tái)明暗場(chǎng)硅片檢測(cè)顯微鏡是適用于對(duì)太陽(yáng)能電池硅片的顯微觀察。本儀器配有大移動(dòng)范圍并能快速移動(dòng)的載物臺(tái)、落射照明器、長(zhǎng)工作距離的平場(chǎng)消色差物鏡、大視野目鏡，圖像清晰、襯度好，同時(shí)配有偏光裝置，及其高像素的數(shù)碼攝像頭。本儀器配有長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡,使觀察硅片時(shí)圖像更加清晰,是檢測(cè)太陽(yáng)能電池硅片的"金字塔" 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析的理想儀器。
　　硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析。雜質(zhì)包括顆粒、有機(jī)雜質(zhì)、無(wú)機(jī)雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍(lán)、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格。是太陽(yáng)能電池硅片生產(chǎn)過(guò)程中的檢測(cè)儀器之一。

二、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡

類型	放大倍數(shù)	視場(chǎng)(mm)
大視野目鏡	10X	Φ22

2.物鏡

類別	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑(NA)	工作距離(mm)
長(zhǎng)距平場(chǎng)消色差物鏡	5X	0.12	18.3
	10X	0.25	8.9
	20X	0.40	8.7
	40X	0.60	3.7
	80X	0.80	0.96

3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X 100X 200X 400X 800X
4.系統(tǒng)參考放大倍數(shù)：50X-2600X
5.落射照明器：6V/20W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)
6.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色、磨砂玻璃
7.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片
8.載物臺(tái)：(配有快速移動(dòng)裝置)
　尺寸:250*230mm 移動(dòng)范圍:153*153mm[標(biāo)配]
　尺寸:274*274mm 移動(dòng)范圍:203*203mm[選配]
9.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.002mm
10.瞳距調(diào)節(jié)范圍：53-75m
11.成像系統(tǒng):高像素的CCD攝像頭

三、系統(tǒng)組成

(TGB-900)：1.硅片顯微微 2.適配鏡 3.CCD攝像器 4.A/D圖像采集卡

四、總放大參考倍數(shù)

TGB-900：50--3800倍

五、選購(gòu)件

1.圖像測(cè)量軟件　　 2.目鏡： 10X(帶刻度)　　3.物鏡：50X 60X 100X

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