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VPS-RF10是一款小型科研用射頻真空等離子清洗機，擁有多層處理電極，有效提高腔體利用率，滿足多種清洗需求。其原理是利用高頻的交變電場作用于真空氣體中，形成大量的等離子體，通過復雜的物理和化學過程來去除材料表面的污染物。采用這種方法能夠提升材料的粘附性與濕潤性，去除不同類型的污染物和雜質，從而為之后的工序奠定良好的基礎。

PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機特點：進口等離子電源電路技術、放電結構，確保等離子體均勻分布

PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機應用：提高親水性、提高粘接性、有機物清洗、PDMS鍵合、硅片玻璃清洗、氧化物還原

PS-RF10 小型科研型射頻真空等離子清洗機

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	VPS-RF10
等離子頻率	13.56MHz自動阻抗匹配
極限真空度	1Pa
功率	0-300W（可調）
腔體尺寸	230(L)270(D)200(H)mm
腔體容積	11L
單層有效處理面積	210（L）×220（D）mm
處理層數(shù)	3層
極板間距	58mm
腔體材質	進口級316L不銹鋼
氣路數(shù)量	2路氣體，支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣等（腐蝕性氣體需定制）
控制方式	PLC+觸摸屏
電源	AC220V/50Hz
外形尺寸	550mm(L)×580mm(W) ×500mm(H)