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STM7測量顯微鏡

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上海舜建儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

無論樣品大小、簡單還是復(fù)雜，或執(zhí)行測量的人員經(jīng)驗(yàn)如何，奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測量顯微鏡。

詳細(xì)介紹

可按照個(gè)人需求進(jìn)行測量的顯微鏡

無論樣品大小、簡單還是復(fù)雜，或執(zhí)行測量的人員經(jīng)驗(yàn)如何，奧林巴斯STM7系列可提供符合您需求的測量顯微鏡。

優(yōu)異的光學(xué)性能

STM7系列采用了當(dāng)前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。

因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對(duì)比度，像差也被消除，以確保實(shí)現(xiàn)對(duì)微小細(xì)節(jié)的高精度測量。

花崗巖精制而成的載物臺(tái)基座增強(qiáng)了測量的可靠性

為了進(jìn)一步保證測量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達(dá)亞微米水平，并大大降低誤差。

STM7-LF FEM分析.jpg

STM7-LF FEM分析

簡單易用的高精度3軸測量

隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要 — 不僅是XY軸平面的測量，Z軸方向的高精度測量也成為必須。為此，奧林巴斯開發(fā)了采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統(tǒng)。

嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過一個(gè)嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精度，此外，在安裝系統(tǒng)時(shí)，奧林巴斯還提供可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。

可靠的模塊化系統(tǒng)

五種配置讓您可以靈活選擇所需功能。

適合您的樣品的載物臺(tái)

· 常見問題

1、短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求{? 由于X軸測量區(qū)域短于Y軸測量區(qū)域，因此必須旋轉(zhuǎn)樣品

2、由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺(tái)上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時(shí)測量

· STM7解決方案

1、STM7提供300 mm x 300 mm載物臺(tái)，能夠測量較大的樣品，包括300 mm晶圓和印刷電路板。

2、X軸和Y軸測量區(qū)域長度相等，因此無需旋轉(zhuǎn)樣品

3、較長的X軸和Y軸測量區(qū)域允許在載物臺(tái)上排列多個(gè)樣品，實(shí)現(xiàn)更高效的測量

測量行程300 mm x 300 mm

提供三款具有不同測量行程的載物臺(tái)供選擇：100 mm x 100 mm、200 mm x 200 mm和300 mm x 300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺(tái)適合您的應(yīng)用。

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實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測量

· 常見問題

進(jìn)行目視測量時(shí)，不同操作員會(huì)測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時(shí)，效率低下。

· STM7解決方案

STM7聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)減少了操作員的主觀性對(duì)高度測量的影響。它還可以縮短執(zhí)行高度測量所需的時(shí)間，以實(shí)現(xiàn)更高的效率

技術(shù)規(guī)格

STM7規(guī)格（手動(dòng)型號(hào)）

			手動(dòng)型號(hào)
			小型載物臺(tái)	中型載物臺(tái)	大型載物臺(tái)
顯微鏡主體			STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF
	聚焦	垂直移動(dòng)范圍	175 mm		145 mm
		測量高度	120 mm（使用測量物鏡） 175 mm（使用金相物鏡）		90 mm（使用測量物鏡） 145 mm（使用金相物鏡）^*1
		Z軸測量分辨率	0.1 um
		Z軸驅(qū)動(dòng)方法	手動(dòng)同軸微調(diào)焦/粗調(diào)焦旋鈕
	照明	LED 照明	白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明
觀察鏡筒			MM6-ETR正像三目鏡筒（100:0/0:100）
目鏡（F.N.22）			MM6-OCC10X（帶十字線）、MM6-OC10X
物鏡	BF（明場）		MM6C-KMAS 照明
			U-5RES-ESD 物鏡轉(zhuǎn)換器
			MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金相物鏡
	BF（明場）/DF（暗場）		MM6C-RLAS 照明
			U-D5BDRES-ESD 物鏡轉(zhuǎn)換器
			LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金相物鏡
LED 裝置	白色（反射）		MM6-ILW
	綠色（透射）		MM6-ILG
載物臺(tái)			STM7-CS100	STM7-CS200	STM7-CS300
	測量范圍		X軸100 mm，Y軸100 mm	X軸200 mm，Y軸200 mm	X軸300 mm，Y軸300 mm
	測量精度（L：測量長度）		(3+2L/100) μm	(3+4L/200) μm	(3+6L/300) μm
	精度保證重量		6 kg	10 kg	15 kg
計(jì)數(shù)器			STM7-DI
	軸數(shù)		三軸
	單位		毫米/微米/英寸/密耳
	分辨率		0.1 um
	控制箱		STM7-CB
	手控開關(guān)		STM7-HS
	聚焦控制器		－
	接口線纜		－
防振基座			－	STM7-VI
電源線纜			UYCP
尺寸（寬x深x高）mm			466 x 583 x 651	606 x 762 x 651	804 x 1024 x 686
重量（kg）			84 kg	152 kg	277 kg
功耗			100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A

_{*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。}

物鏡工作距離

物鏡			1X	3X	5X	10X	20X	50X	100X
測量物鏡	MM6-OB系列		59.6	76.8	65.4	50.5	－	－	－
金相物鏡	MPLFLN系列	明場	－	－	20.0	11.0	3.1	1.0	1.0
	LMPLFLN系列	長工作距離	－	－	22.5	21.0	12.0	10.6	3.4
	MPLFLN-BD系列	明場/暗場	－	－	12.0	6.5	3.0	1.0	1.0
	LMPLFLN-BD系列	明場/暗場，長工作距離	－	－	15.0	10.0	12.0	10.6	3.3

STM7-BSW系統(tǒng)要求

項(xiàng)目
CPU	對(duì)于STM7-CU相機(jī)，需要Intel Core i3處理器3 GHz或更高；對(duì)于DP23/DP28相機(jī)，需要Intel Core i5或同等或更高級(jí)別處理器
內(nèi)存	對(duì)于STM7-CU相機(jī)，為4 GB或更高；對(duì)于DP23/DP28相機(jī)，至少需要8 GB，建議16 GB
硬盤可用空間	安裝需要100 GB或更大硬盤空間，建議使用SSD硬盤以實(shí)現(xiàn)高速圖像采集
顯卡	支持分辨率1980 x 1080和32位色的顯卡
驅(qū)動(dòng)器	DVD驅(qū)動(dòng)器
PC輸入設(shè)備	2鍵鼠標(biāo)（建議使用帶滾輪的3鍵鼠標(biāo)）、鍵盤
操作系統(tǒng)	Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations（64位）
網(wǎng)絡(luò)瀏覽器	Internet Explorer 11

_{* 還支持32位和64位Microsoft Office 2013/2016/2019/2021/365 (SAC)。}

STM7規(guī)格（電動(dòng)型號(hào)）

			電動(dòng)型號(hào)
			中型載物臺(tái)	大型載物臺(tái)
顯微鏡主體			STM7-MFA	STM7-LFA
	聚焦	垂直移動(dòng)范圍	175 mm	145 mm
		測量高度	120 mm（使用測量物鏡） 175 mm（使用金相物鏡）	90 mm（使用測量物鏡） 145 mm（使用金相物鏡）^*1
		Z軸測量分辨率	0.1 um
		Z軸驅(qū)動(dòng)方法	電動(dòng) 聚焦按鈕：粗調(diào)移動(dòng)速度8 mm/s（值）微調(diào)焦/粗調(diào)焦旋鈕：微調(diào)焦速度有4檔可供選擇（800 μm、400 μm、100 μm、50 μm）
	照明	LED 照明	白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明
觀察鏡筒			MM6-ETR正像三目鏡筒（100:0/0:100）
目鏡（F.N.22）			MM6-OCC10X（帶十字線）、MM6-OC10X
物鏡	BF（明場）		MM6C-KMAS 照明
			U-5RES-ESD 物鏡轉(zhuǎn)換器
			MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金相物鏡
	BF（明場）/DF（暗場）		MM6C-RLAS 照明
			U-D5BDRES-ESD 物鏡轉(zhuǎn)換器
			LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金相物鏡
LED 裝置	白色（反射）		MM6-ILW
	綠色（透射）		MM6-ILG
載物臺(tái)			STM7-CS200	STM7-CS300
	測量范圍		X軸200 mm，Y軸200 mm	X軸300 mm，Y軸300 mm
	測量精度（L：測量長度）		(3+4L/200) μm	(3+6L/300) μm
	精度保證重量		10 kg	15 kg
計(jì)數(shù)器			STM7-DI
	軸數(shù)		三軸
	單位		毫米/微米/英寸/密耳
	分辨率		0.1 um
	控制箱		STM7-CBA
	手控開關(guān)		－
	聚焦控制器		STM7-MCZ
	接口線纜		U-IFCBL200	U-IFCBL200
防振基座			STM7-VI
電源線纜			UYCP
尺寸（寬x深x高）mm			606 x 762 x 811	804 x 1024 x 844
重量（kg）			159 kg	284 kg
功耗			00-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A	100-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A

_{*1 使用大型鏡架STM7-LF/STM7-LFA時(shí)，可將高度為100 mm或以下的樣品放置在光軸后方180 mm或以上距離的地方。}

選件

物鏡	測量物鏡	MM6-OB系列（1X /3X /5X /10X）
聚焦導(dǎo)航器	聚焦導(dǎo)航器裝置	STM7-FN
聚焦導(dǎo)航器	綠光LED裝置	MM6-ILG
自動(dòng)聚焦	自動(dòng)對(duì)焦單元	STM7-AF
微分干涉對(duì)比度	用于反射光的U-DICR DIC插槽	U-DICR
軟件/相機(jī)^*1	測量支持軟件	STM7-BSW
相機(jī)	低端數(shù)碼相機(jī)	STM7-CU
	中端數(shù)碼相機(jī)	DP23-CU
	數(shù)碼相機(jī)	DP28-CU
TV適配器	帶0.5倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒	U-TV0.5XC-3
TV適配器	帶0.35倍鏡頭的C型相機(jī)接口觀察筒	U-TV0/35XC-2
可旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)	行程100 x 100 mm	STM7-RS100
	行程200 x 200 mm	STM7-RS200
	行程300 x 300 mm	STM7-RS300
ND濾鏡	ND濾鏡（透射率6%）	U-25ND6
ND濾鏡	ND濾鏡（透射率25%）	U-25ND25
微分干涉對(duì)比度	微分干涉對(duì)比度/偏振鏡	U-PO3
微分干涉對(duì)比度	微分干涉對(duì)比度/檢偏鏡	U-AN360-3
軟件	MIA、EFI（可選軟件）	STM7-ASW-ME
腳踏開關(guān)		STM7-FS
電源裝置		MM6-ILPS-2
載物臺(tái)測微計(jì)		OB-M/OB-MM