低溫超高真空掃描隧道顯微鏡STM（Ultrascan LT-100）
掃描探針顯微鏡（STM）為代表的超高真空設(shè)備廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中，主要進(jìn)行對(duì)表面有關(guān)或者在表面發(fā)生的所有物理化學(xué)現(xiàn)象進(jìn)行原子尺度的研究。
卓聚創(chuàng)新研發(fā)的超高真空低溫（4K）STM系統(tǒng)包含關(guān)鍵技術(shù)如壓電陶瓷步進(jìn)馬達(dá)、低溫STM探頭、超真空液氦雙層杜瓦等。
 | 應(yīng)用案例 檢測(cè)樣品表面形貌,成功獲取原子級(jí)分辨率 選取B級(jí)高定向熱解石墨為樣品，常溫常壓下，本底噪音低于500pA。可以清晰地得到石墨表面的臺(tái)階和有序排列的碳原子。 |
低溫超高真空掃描隧道顯微鏡STM參數(shù)
| 探頭類型 | ||
| 潘式 | 6足壓電陶瓷結(jié)構(gòu)，以慣性滑移的方式進(jìn)行粗逼近 | |
| 壓電陶瓷 | ||
| 團(tuán)隊(duì)自研的低溫技術(shù)，在4K下仍可達(dá)成快速逼近，典型粗逼近耗時(shí)<10min | ||
| 真空度 | ||
| 快速進(jìn)樣室 | < 1.5×10 -4 | mbar |
| 制備室 | < 3.0×10 -10 | mbar |
| 分析室 | < 3.0×10 -10 | mabr |
| 掃描范圍 | ||
| 室溫 | 5×5 | μm |
| 77K | 1×1 | μm |
| 4K | 0.6×0.6 | μm |
| 分辨率 | ||
| 橫向 | <0.1 | ? |
| 縱向 | 0.01 | ? |
| 熱漂移率 | ||
| 常規(guī) | <0.2 | pm/h |
| 優(yōu)化后 | <0.1 | pm/h |
| 系統(tǒng)噪音水平 | ||
| 電子學(xué)噪音 | < 500 | fA |
| 機(jī)械噪音 | < 2 | pm |
| 針尖 – 樣本 | ||
| 樣本針尖可隨時(shí)更換，間距可調(diào)范圍達(dá)10mm，方便進(jìn)行原位的蒸發(fā)或者增加其他的特殊功能機(jī)構(gòu) | ||
研發(fā)推出的超高真空低溫掃描探針顯微鏡系列產(chǎn)品，除了高性能STM、調(diào)頻AFM、TERS等設(shè)備外，還可將核心部件模塊化，集成化，針對(duì)科研用戶，定制開發(fā)所需功能和設(shè)備。
目前國(guó)內(nèi)此領(lǐng)域尚無成型商業(yè)產(chǎn)品，研發(fā)團(tuán)隊(duì)形成品牌的形象，在行業(yè)內(nèi)具有很強(qiáng)的競(jìng)爭(zhēng)力，是應(yīng)用于科研前沿材料的表征。
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