SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準(zhǔn)確定位， 它具有分辨率高，尺寸緊湊，行程大，操作簡單，能在真空下使用等優(yōu)點，可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。
SEM納米探針臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動，運無需潤滑，百分真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。
三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。
SEM納米探針臺特點：
結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。
零間隙，高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。
壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命。
內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋。
應(yīng)用：納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測量、生物細胞DNA操作等。
適配SEM：日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等。
SEM納米探針臺技術(shù)參數(shù)
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